PDMS室

微反应器内的温度控制对于生化和生物医学应用至关重要。最近，利用体相LiNbO3基片制作的声表面波( SAW )器件进行声热加热的研究得到了证明。但是，这些一般比较脆弱，难以集成到单片实验室中。本文提出了一种采用AlN / Si薄膜SAWs的快速可控声热微热器。研究了器件的声热加热特性，并优于其他类型的薄膜SAW器件(如ZnO / Al和ZnO / Si )，表征了AlN / Si SAW器件对聚二甲基硅氧烷( PDMS )微腔内绝缘液滴和液体的动态加热过程。结果表明，对于绝缘体液滴加热，由于液滴变形和振动较大，在高射频功率下温度不稳定；而对于微腔内液体，可以通过输入功率精确控制温度，具有良好的稳定性和重复性。此外，与行波声表面波相比，驻波加热的温度均匀性得到了改善。我们的工作表明，AlN / Si薄膜SAWs在加速生化反应、DNA扩增等微流控加热方面具有很大的应用潜力。